La soudure directe silicium/silicium. Applications aux capteurs integres

Silicon direct bonding and its applications to integrated sensors

• Auteur / Autrice : LIONEL BABADJIAN
• Direction : Serge Rigo
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences appliquées
• Date : Soutenance en 1992
• Etablissement(s) : Paris 7

Résumé

Ce travail consiste a etudier la soudure directe silicium/silicium ainsi que ses applications dans le domaine des capteurs integres. Apres un chapitre de presentation des technologies employees pour la fabrication des capteurs en silicium, nous nous interessons, dans le second chapitre, aux mecanismes de la soudure directe en s'appuyant sur les proprietes de surface de ce semiconducteur. Nous avons developpe des moyens de caracterisation optiques, mecaniques et electriques afin d'observer l'influence des parametres technologiques. Enfin dans le troisieme chapitre nous exploitons ce moyen d'assemblage pour l'etude et la realisation de demonstrateurs et nous proposons une filiere technologique originale pour la fabrication monolithique des capteurs et de l'electronique