Contribution à l'étude des joints de grains dans le silicium

• Auteur / Autrice : Jean-Luc Maurice
• Direction : Jean-Yves Laval
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1992
• Etablissement(s) : Paris 7

Résumé

Les proprietes electriques des joints de grains, dans le silicium polycristallin, sont tres sensibles a la nature des microprecipites d'impuretes qu'ils contiennent. Ces precipites forment deux classes bien distinctes: i) les precipites metalliques, formes de siliciures de metaux de transition (fe, ni, cu), qui ont une influence determinante sur les proprietes electriques de joints, et ii) les precipites isolants, a base d'oxyde ou d'oxynitrure de silicium, qui ont une influence beaucoup plus faible