Modifications de surfaces de silice par bombardement d'ions de gaz rares de faible energie

Modifications of silica surfaces by low-energy inert gas ion bombardment

• Auteur / Autrice : MOHAMED KHELLAFI
• Direction : Bernard Lang
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1991
• Etablissement(s) : Université Louis Pasteur (Strasbourg) (1971-2008)

Résumé

Les spectroscopies d'electrons auger et de pertes d'energies servent a caracteriser l'endommagement de surfaces de sio#2 par bombardement ionique, qui se manifeste par l'apparition de nouveaux etats de liaison et une modification de la charge electrique. On determine l'influence des parametres du flux d'ions (fluence, energie, nature de l'ion) et l'influence du type de silice utilisee comme cible sur le degre d'endommagement de la surface. On essaie d'identifier les mecanismes et les defauts mis en jeu. On compare des echantillons d'oxydes thermiques et de verres de silice, differant par leur epaisseur et leur contenu en oh; ces caracteristiques influent sur la resistance a l'irradiation