Application des faisceaux d'ions au depot de couches minces a vocations optique et mecanique

Application of ion beams to optical and mechanical thin films deposition

• Auteur / Autrice : OLIVIER BURAT
• Direction : Guy Gautherin
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1991
• Etablissement(s) : Paris 11

Résumé

Le theme de cette these est la mise en application des faisceaux d'ions au depot de couches minces. Nous avons mis au point un systeme de depot sous ultra-vide permettant de repondre aux objectifs de la recherche grace a des moyens importants de controle in situ et neanmoins demonstratif par ses dimensions sur le plan de l'application industrielle. Nous avons exploite cet outil dans deux grands domaines d'application des couches minces, l'optique et la mecanique, en realisant des films d'argent reflechissants en evaporation assistee par faisceau d'ions argon et des revetements de nitrure de bore en evaporation de bore assistee par un bombardement ionique d'azote et en condensation d'ions issus d'une decharge alimentee en borazine. Si le bombardement ionique ameliore la densite et la duree de vie des couches d'argent dans l'air, par contre, les atomes d'argon incorpores agissent comme defauts ponctuels responsables d'une degradation de la conductivite electrique et du pouvoir reflechissant des couches. Le mecanisme de synthese du nitrure de bore a ete analyse: il est purement collisionnel tant que la stchiometrie n'a pas ete atteinte; au-dela, un processus de diffusion assistee par le bombardement ionique intervient. La durete des couches depend de leur mode d'obtention et atteint une valeur satisfaisante (neuf dans l'echelle mhos) pour l'application envisagee