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des thèses françaises
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Analyse morphologique et fréquentielle d'images des défauts dans les semiconducteurs III-V : application au système Nanolidar
FR |
EN
| Auteur / Autrice : | Mohamed Syamsa Ardisasmita |
| Direction : | Jean-Pierre Fillard |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Composants, signaux et systèmes |
| Date : | Soutenance en 1991 |
| Etablissement(s) : | Montpellier 2 |
Résumé
FR
Le developpement de nouvelles methodes permet d'ameliorer la resolution verticale de la tomographie laser a balayage (lst) a l'echelle submicronique. On decrit egalement les performances d'appareillage de mesure par une analyse dans le domaine des frequences permettant de determiner avec precision les caracteristiques optiques et les aberrations de l'objectif utilise en tomographie lst. Une mise au point de nouveau logiciel d'analyse morphologique a ete realisee et accelere le temps de traitement sur les images lst