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des thèses françaises
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Etudes des spécifications optiques de la tomographie laser à balayage à haute résolution
FR |
EN
| Auteur / Autrice : | Rudy Setiabudy |
| Direction : | Jean-Pierre Fillard |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Composants, signaux et systèmes |
| Date : | Soutenance en 1991 |
| Etablissement(s) : | Montpellier 2 |
Résumé
FR
La tomographie laser a balayage (lst) est une methode de caracterisation des materiaux semi-conducteurs tridimensionnelle non destructive et tres sensible. Elle exploite la diffusion par les defauts d'un materiau d'un faisceau sonde. Ce travail a pour but de determiner et d'ameliorer les specifications optiques du dispositif de la lst, c'est-a-dire sa resolution, sa detectivite, et sa sensibilite. Pour cela, la mise en forme du faisceau sonde/materiau et la formation d'images de diffusion ont ete etudiees