Recherche Avancée

Thèse soutenue

Mesures de l'anisotropie des couches produites par évaporation-condensation : confrontation des résultats de caractérisation de l'optique guidée avec les mesures de transmission en lumière polarisée

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Auteur / Autrice : Dominique Martin Endelema
Direction : François Flory
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Composants, signaux et systèmes. Composants électroniques et optiques
Date : Soutenance en 1991
Etablissement(s) : Aix-Marseille 3

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Anisotropie
Guides d'ondes optiques
Ondes électromagnétiques -- Propagation
Couches diélectriques

Résumé

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La structure en colonnes de certaines couches minces dielectriques confere aux traitements des surfaces des proprietes optiques qu'un modele de couche isotrope ne suffit pas a expliquer. On utilise le modele de structure en colonnes pour decrire le comportement d'une onde optique dans ces materiaux en films minces. La theorie electromagnetique permet de prevoir leurs proprietes optiques aussi bien en reflexion et transmission qu'en optique guidee quelle que soit l'orientation du plan d'incidence par rapport aux colonnes. Le developpement d'appareillages performants de mesure des constantes de propagation guidee (methodes des m-lines) et de la transmission en lumiere polarisee permet de relever la modulation de ces proprietes optiques lorsque le plan d'incidence tourne par rapport a l'orientation des colonnes. En associant le formalisme developpe aux mesures de transmission on detecte avec une bonne sensibilite la dependance de l'anisotropie de couches tio#2 deposees par evaporation sous vide a l'aide d'un canon a electrons, avec l'incidence de la matiere. A titre d'exemple d'application, on s'interesse a l'uniformite sur des grandes surfaces, des depots de couches de tio#2 et de la ta#2o#5 realisees avec l'assistance d'un faisceau d'ions et par la technique dite ion plating