Contribution à l'étude théorique et expérimentale de la phase gazeuse dans un réacteur de depot chimique

Theoretical and experimental study of hydrodinamics and heat transfer in flowing gas phase within a vapodeposition reactor

• Auteur / Autrice : Hassan Chehouani
• Direction : Benigno Armas
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Énergétique
• Date : Soutenance en 1990
• Etablissement(s) : Perpignan

Mots clés

Mots clés contrôlés

Couche limite

Réacteurs chimiques

Interférométrie holographique

Dépôt chimique en phase vapeur

Résumé

Le depot chimique a partir d'une phase gazeuse est un procede qui suscite un grand interet pour l'industrie de demain. La plupart des applications existant au niveau industriel necessitent une connaissance approfondie des mecanismes physico-chimiques mis en jeu par ce procede. Notre contribution est l'etude theorique et experimentale de l'hydrodynamique et de la thermique de la phase gazeuse dans un reacteur de vapodeposition a paroi froide. Sur le plan experimental, nous avons utilise l'interferometrie holographique pour determiner la cartographie des temperatures dans le reacteur. Cette technique optique ne perturbe pas le milieu et offre un suivi en temps reel du comportement thermique de la phase gazeuse. Nous nous sommes attaches a l'amelioration du traitement de l'information contenue dans un interferogramme axisymetrique en utilisant un dispositif de traitement d'images pour augmenter la precision de la mesure et la rapidite de l'acquisition. Sur le plan theorique, nous avons propose un modele fonde sur la formulation et la resolution des equations de navier-stokes et de l'energie ecrites en formulation elliptique. Le code de calcul ainsi realise nous a permis d'avoir une description fine des ecoulements bidimensionnels et des champs de temperature et de vitesse en tout point du reacteur. Dans la derniere partie, nous avons confronte les previsions theoriques et experimentales. Ces comparaisons ont permis de valider le modele sur le plan thermique et ont montre que celui-ci etait un outil tout-a-fait adapte a la description de la thermique et l'hydrodynamique dans un reacteur de vapodeposition