Etude par spectroscopie optique de l'interaction d'un plasma multipolaire d'hydrogene et d'une surface d'arseniure de gallium

Spectroscopic study of the interaction of a multipolar hydrogen plasma wirh a gallium-arsenide wafer

• Auteur / Autrice : ROBIN FERDINAND
• Direction : Jean Bretagne
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1990
• Etablissement(s) : Paris 11

Résumé

Le traitement du gaas par un plasma multipolaire d'hydrogene et une des etapes necessaires a la preservation des caracteristiques electroniques l'arseniure de gallium. Nous avons effectue une modelisation du plasma en volume. Cette modelisation englobe le calcul de la fonction de distribution en energie des electrons et la modelisation de l'evolution des especes atomiques et moleculaires h, h#2, h#+, h#2#+, h#3#+. Nous avons affectue une etude du plasma en fonction des parametres experimentaux: tension et courant de decharge, pression. L'analyse du profil des raies de la serie de balmer de l'hydrogene atomique ainsi que des caracteristiques de sonde de langmuir permet de confronter les resultats du modele. En vue de l'analyse par spectroscopie des especes resultant de l'interaction du plasma d'hydrogene pur avec l'echantillon du gaas, une etude prealable de l'emission d'un plasma de h#2/15% ash#3 a ete effectuee. Nous avons tente de detecter les atomes d'arsenic provenant de l'interaction par fluorescence induite par laser. Par spectroscopie d'emission, nous avons mis en evidence la presence de raies d'arsenic elementaire dont l'intensite a ete etudiee en fonction de la pression, de la position et de la temperature de l'echantillon