Synthèse et étude de nouveaux polymères porteurs d'unités TTF utilisables dans les domaines de la microlithographie et des semi-conducteurs

Synthesis and study of the new polymers bearing ttf units which can be used in the microlithographic field and semi-conductors' one

• Auteur / Autrice : Henri Mora
• Direction : Louis Giral, François Schué
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Chimie des matériaux
• Date : Soutenance en 1990
• Etablissement(s) : Montpellier 2

Mots clés

Mots clés contrôlés

Ions

Radicaux (chimie)

Sels, Effets de (chimie)

Complexes donneur-accepteur d'électrons

Transfert de charge

Oxydation

Photochimie

Semiconducteurs -- Effets des rayonnements

Copolymères greffés

Polystyrène

Microlithographie

Résumé

Ce travail concerne la synthese et l'etude de nouveaux derives du poly(styrene) greffes par des unites ttf utilisables dans les domaines de la microlithographie et des semi-conducteurs. Nous avons dans un premier temps synthetise ces polymeres et, pour cela, de nombreux intermediaires ont ete prealablement prepares selon de nouvelles voies de synthese. Nous nous sommes ensuite interesses a leurs applications. Dans ce but, nous avons montre que ces nouveaux polymeres, conformement au comportement de leur molecule modele, s'oxydent aisement en formant soit un complexe de transfert de charge lorsqu'ils sont mis en presence de ddq soit un sel d'ion radical lorsqu'ils sont irradies sous uv en presence d'un compose halogene tel que le tetrabromure de carbone