Microcaractérisation de matériaux de la microélectronique utilisant la méthode de la signature acoustique V(z)

Microcharacterization of material, used in microelectronic by the acoustic signature method v(z)

• Auteur / Autrice : Christine Amaudric du Chaffaut
• Direction : Jacques Attal
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Composants, signaux et systèmes
• Date : Soutenance en 1990
• Etablissement(s) : Montpellier 2

Mots clés

Mots clés contrôlés

Microélectronique

Électronique -- Matériaux

Microscopes électroniques à balayage

Microscopie acoustique

Résumé

L'objectif de ce travail est de valider l'emploi de la microscopie acoustique a la caracterisation des composants microelectroniques depuis le premier stade de leur elaboration jusqu'a leur encapsulation finale. Plusieurs microscopes ont ete developpes dans la gamme 50 a 600 mhz pour repondre aux exigences de la grande disparite des proprietes mecaniques des differents materiaux et structures situes en surface comme en profondeur. Les resultats obtenus permettent de conclure a l'interet du developpement d'un instrument specifique a la microelectronique