Etude et réalisation d'un dispositif original pour traitement de surfaces par plasma micro-ondes

Study and realisation of an original device for surface treatment by microwave plasma

• Auteur / Autrice : Taoufik Aguili
• Direction : Etienne Karmazsin
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences
• Date : Soutenance en 1990
• Etablissement(s) : Lyon 1
• Jury : Examinateurs / Examinatrices : Etienne Karmazsin

Mots clés

Mots clés contrôlés

Champs électriques

Traitements de surface

Plasmas microondes

Résumé

Apres une breve presentation des divers dispositifs utilises pour la generation des plasmas, deux methodes permettant la determination des parametres d'un applicateur micro-ondes sont presentees. Le chapitre iii est consacre a l'etude des generateurs utilises en hyperfrequences. Les caracteristiques de divers types de filtrage sont decrites et un systeme est modelise. La suite du chapitre est consacree a l'etude d'une alimentation originale et a la realisation pratique du generateur etudie. Le chapitre iv presente l'etude de l'applicateur micro-ondes realise pour la generation des plasmas. Un dispositif d'adaptation automatique au generateur est realise. Le dispositif informatise permet aussi le controle et la gestion des principaux parametres (, , ne. . . ). Le chapitre v est consacre aux resultats experimentaux. Des exemples de traitement de surface de films de polypropylene et de polyethylene sont exposes et les resultats analyses par diverses techniques