Recherche Avancée

Thèse soutenue

Elaboration et caractérisation de couches minces de zircone stabilisée ZrO2-Y2O3 obtenues par pyrolyse d'un aérosol généré par ultrasons : étude de la faisabilité d'un microcapteur à oxygène

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Auteur / Autrice : François Cellier
Direction : Michel Labeau
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Électrochimie
Date : Soutenance en 1990
Etablissement(s) : Grenoble INPG

Résumé

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L'evolution des dispositifs dans de nombreux domaines technologiques fait maintenant appel a des composants en couches minces. Dans le cas de cellules electrochimiques, la possibilite de disposer d'electrolytes solides de faible epaisseur presenterait certains avantages de fabrication et de fonctionnement. A cet effet, une technique de depot basee sur la pyrolyse d'un aerosol genere par ultrasons le procede pyrosol a ete developpee pour elaborer des couches minces de zircone yttriee zro#2-y#2o#3. La comprehension du processus reactionnel a permis de maitriser les conditions experimentales de depot de l'oxyde et de controler sa composition. Diverses techniques de caracterisation ont permis d'apprecier la qualite du materiau depose en rapport avec les conditions de preparation. L'etude a egalement porte sur la potentialite de la methode quant a la realisation d'un microcapteur a oxygene en couche mince du type pt/zro#2-y#2o#3/pd-pdo sur substrat platine. Bien que les resultats obtenus n'aient pas permis d'atteindre pleinement cet objectif, le procede utilise s'est avere etre particulierement bien adapte pour le depot de certains materiaux d'electrode. Des films metalliques de pt et de pd possedant des proprietes proches de celles du massif ont ete obtenus. Des materiaux composites cermets pt-zro#2-y#2o#3 de composition variee ont egalement ete deposes et caracterises par differentes techniques