Recherche Avancée

Thèse soutenue

Elaboration par pyrolyse d'un aérosol et caractérisation de couches minces transparentes de ferrites magnétiques pour des dispositifs magnéto-optiques et des composants hyperfréquences

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Auteur / Autrice : Jean-Luc Deschanvres
Direction : Jean-Claude Joubert
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences des matériaux
Date : Soutenance en 1990
Etablissement(s) : Grenoble INPG

Résumé

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Aujourd'hui l'evolution des dispositifs dans tous les domaines technologiques fait appel aux composants en couches minces. La realisation de couches minces transparentes pour l'enregistrement magneto-optique comme la miniaturisation des composants hyperfrequences en sont des exemples. Afin de repondre a ces besoins, la technique de pyrolyse d'un aerosol genere par pulverisation ultrasonore (procede pyrosol) a ete developpee pour le depot de ferrites spinelles de nickel-zinc ou lithium-zinc et de ferrites grenats d'yttrium. Les conditions de depots pour chacun des materiaux sont etudiees en fonction des parametres experimentaux. Des couches minces pures polycristallines parfaitement transparentes ont ete obtenues sur differents substrats: verre, quartz et silicium. L'epitaxie de couches monocristallines de grenat d'yttrium a ete realisee sur des substrats monocristallins de ggg. La croissance de ces couches est analysee a partir de differentes techniques de caracterisation (diffraction des rx en incidence rasante, microscopie electronique en transmission, observation des pseudo-lignes de kikuchi. . . ). Les caracteristiques magnetiques et magneto-optiques des couches elaborees correspondent au comportement du materiau massif. Compte tenu des resultats obtenus et des avantages de la technique de depot (facilite de mise en uvre, faible cout), le procede pyrosol apparait comme une methode tres competitive pour l'elaboration de composants en couches minces a base de ferrites