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Thèse soutenue

Etude et développement de procédés optiques de métrologie tridimensionnelle submicrométrique, appliqués à la microélectronique

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Auteur / Autrice : Pascale Guillaume-Livrozet
Direction : Daniel Courjon
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences appliquées
Date : Soutenance en 1990
Etablissement(s) : Besançon

Résumé

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L'Evolution de la microélectronique vers une miniaturisation de plus en plus poussée, a amené les métrologistes à développer de nouvelles méthodes de caractérisation en temps réel, des motifs tridimensionnels composant les circuits intègres. Parmi les moyens d'analyse possibles, la microscopie optique haute résolution est une solution intéressante car simple et rapide a mettre en œuvre. Après une première partie faisant le point sur les différentes techniques actuellement utilisées, ce mémoire décrit plusieurs procédés optiques originaux de mesure de largeurs de traits sur circuit intègre. Tous ces procédés ont en commun l'utilisation d'une connaissance partielle a priori de l'objet et de ses paramètres. Une des solutions retenues consiste à remonter, à partir de modèles physiques ou empiriques, à la connaissance de la largeur du trait, par ajustement itératif de données simulées aux données expérimentales. Une autre méthode à caractère statistique, est basée sur la classification automatique d'images de traits de largeur inconnue dans un espace d'apprentissage préalablement établi au moyen de la transformation de Karhunen-Loeve