Thèse soutenue

Etude de la reponse au ph du nitrure de silicium en vue de la realisation de capteurs microelectroniques
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Auteur / Autrice : Christophe Lefevre
Direction :  COSTESDaniel Estève
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Chimie
Date : Soutenance en 1989
Etablissement(s) : Toulouse 3

Résumé

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L'etude porte sur le processus d'elaboration des composants, la physique des dispositifs, leur encapsulation et les moyens mis en uvre pour les tester et les caracteriser. La deuxieme partie du travail presente les resultats experimentaux relatifs a l'etude de la sensibilite au ph, la stabilite temporelle et la degradation electrique