Thèse soutenue

Croissance et caracterisation de films ultra-minces d'oxydes de silicium formes sous bombardement electronique en surface du silicium (100)

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Auteur / Autrice : BENAFGOUI SEFSAF
Direction : Bernard Carrière
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique
Date : Soutenance en 1989
Etablissement(s) : Université Louis Pasteur (Strasbourg) (1971-2008)

Résumé

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Ce travail s'inscrit dans le cadre general des recherches relatives a la physicochimie des surfaces et interfaces du silicium. L'approche privilegiees est d'acceder a une nouvelle connaissance de leur structure electronique et des liaisons chimiques mises en jeu. L'objectif de l'etude plus specifiquement, par analyse auger et spectroscopie de pertes, l'influence du bombardement electronique sur l'oxydation de la face (100) du silicium monocristallin, a temperature ambiante. Au-dela la caracterisation du mode de formation de l'interface si-sio#2, la question principale concerne la possibilite d'utiliser de tels oxydes ultra-minces dans l'elaboration de structures du type pos. Plusieurs conclusions se degagent de ce travail. La premiere est une confirmation de l'efficacite des electrons dans le processus d'oxydation et du role determinant des secondaires. Apres que l'influence des differents parametres experimentaux ait ete analysee, la mise en uvre conjointe de l'aes et de l'els permet de decrire l'oxyde forme en surface de si (100) comme une silice probablement desordonnee avec une couche d'interface formee d'un melange d'entites sio#x sous-stoechiometriques en conformite avec un modele rbm (random bonding model). Enfin, l'etude de la croissance du cobalt, a temperature ambiante, sur cet oxyde electronique et en mode thermique d'epaisseur equivalente met en evidence une moins bonne tenue de l'oxyde electronique devant la possibilite de diffusion du metal