Sulfuration de inp de type n par voie electrolytique

Electrolytic sulfuration of n-inp

• Auteur / Autrice : Thierry Moreau
• Direction : HERLEM, CHEMLA
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Chimie
• Date : Soutenance en 1989
• Etablissement(s) : Paris 6

Résumé

La mesure de l'impedance electrochimique de inp de type n lors de l'injection d'une solution concentree de na#2s dans l'electrolyte na#2so#4 0,1 m neutre non tamponne, montre l'existence de deux etapes dont la frontiere peut etre decrite par le temps de contact. La premiere correspond aux faibles temps (moins de 1 min) pour lesquels, la mesure du mesure du potentiel de bandes plates de inp est reversible. Il s'agit d'une etape d'adsorption competitive entre oh# et hs#. Pour des concentrations en sulfure inferieures a 10##5 m et superieures a 10##2 m, seuls les ions oh# s'adsorbent et nous observons une contribution maximale des ions hs# pour une concentration de 2?10##3 m (ph=11,1). Au cours du temps de contact, l'apparition irreversible d'importants etats en surface montre une modification de la surface. Celle-ci est confirmee par la perte de la reponse electrochimique du substrat due aux ions sulfure permettant de parler de la sulfuration du materiau. Cette sulfuration a ete etudie par x. P. X. , qui montre une perte de phosphore en surface et la formation de sulfure d'indium dont la composition est fonction de la concentration. Il apparait au travers de mesures electrochimiques, que cette couche est passivante et cela d'autant plus que la composition du sulfure d'indium est in#2s#3. Ce type de sulfuration n'est pas directement applicable aux systemes transistor a effet de champ mais pourrait jouer un role de pretraitement de la surface avant depot d'un isolant. La competition a l'adsorption observee lors de ce travail, pose le probleme de l'interpretation du potentiel de bandes plates. Elle est decrite par la formation de microjonctions donnant un potentiel de bandes plates mixte