Étude de l'effet électrochrome au sein des couches minces de MoO3 et WO3 préparées par CVD : Chemical Vapor Deposit

Study of the electrochromic effect in the molybdenum and tungsten trioxide films prepared by chemical vapor deposition

• Auteur / Autrice : Ahmed Abdellaoui
• Direction : Albert Donnadieu
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Composants, signaux et systèmes électroniques
• Date : Soutenance en 1989
• Etablissement(s) : Montpellier 2

Mots clés

Mots clés contrôlés

Molybdène

Systèmes d'affichage

Dépôt chimique en phase vapeur

Couches minces

Oxydes métalliques

Tungstène

Résumé

Des couches polycristallines de moo#3 ont ete preparees par decomposition en phase vapeur de l'hexacarbonyle de molybdene mo(co)#6. La structure et la composition des couches ont ete determinees par diffraction de rayonx x, d'electrons, microscopie electronique et retrodiffusion de particules. Les variations, en fonction des parametres de fabrication, des caracteristiques electriques (resistivite, mobilite, constante de hall,. . . ) et optiques (indices, gap) des couches ont ete etudiees. L'effet electrochrome a ete mis en evidence et caracterise dans ces couches. Les resultats obtenus et compares a ceux fournis par des couches de wo#3 preparees de la meme maniere ont permis la preparation de couches mixtes moo#3/wo#3 dont les caracteristiques electrochromes ont ete interpretees qualitativement a partir du modele de separation de bandes de hubbard-mott