Contribution à l'analyse cristallographique et mécanique des couches de molybdène préparées par pulvérisation cathodique magnétron

Contribution to crystallographic and mechanical analysis of molybdenum coating produced by planar magnetron sputtering

• Auteur / Autrice : Pierre Bosland
• Direction : Marcel Caillet
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Génie des procédés
• Date : Soutenance en 1989
• Etablissement(s) : Grenoble INPG
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Centre d'études nucléaires (Grenoble ; 1956-2006)

Mots clés

Mots clés libres

Sciences appliquees

Metaux

Metallurgie

Revetement metallique

Pulverisation irradiation

Implantation ion

Molybdene|sec

Diffraction rx

Etude experimentale

Texture

Caracteristique mecanique

Contrainte compression

Orientation cristalline

Metal pur mo|sec

Magnetron

Metal coatings

Sputtering

Ion implantation

Molybdenum

X ray diffraction

Experimental study

Textures

Mechanical property

Compressive stress

Crystal orientation

Metal coating

Magnetron

Texture

Mechanical characteristic

Résumé

Elaboration par pulverisation cathodique magnetron en faisant varier la tension de polarisation negative appliquee au substrat, de revetements de molybdene presentant differents etats de contraintes de compression. Analyse, en fonction de l'evolution des contraintes, de l'evolution de la texture cristallographique et de la teneur en argon incorpore dans les couches