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Thèse soutenue

Étude, caractérisation et modélisation des micromagnétodiodes à grille en silicium sur saphir

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Auteur / Autrice : Georges Dimopoulos
Direction : Alain Chovet
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Microélectronique
Date : Soutenance en 1989
Etablissement(s) : Grenoble INPG

Résumé

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Apres avoir presente une revue des divers capteurs de champ magnetique a semiconducteur integrables, nous rappelons le principe de l'effet magnetodiode et en verifions experimentalement les lois theoriques relatives aux caracteristiques courant-tension, aux dimensions des dispositifs et a leurs sensibilites au champ magnetique pour des micromagnetodiodes a grille en silicium sur saphir (sos). Nous etudions ensuite l'influence de la grille; nous donnons une interpretation qualitative des resultats, et comparons les performances obtenues pour differentes micromagnetodiodes sur sos, mais aussi pour les premieres magnetodiodes sur simox. Nous effectuons une modelisation de l'influence de la grille a partir d'une simulation a une dimension qui permet de comprendre et de decrire correctement le fonctionnement des macromagnetodiodes a grille; nous presentons aussi differents modeles (l'un analytique et l'autre numerique) de la sensibilite magnetique de nos dispositifs. Enfin des mesures de bruit permettent de completer la caracterisation de ces capteurs, de confirmer l'origine volumique du bruit en 1/f dans les magnetodiodes et d'obtenir les lois reliant le niveau de bruit aux polarisations