Etude theorique et experimentale de l'emission de rayonnement x par les plasmas crees par laser : application a la lithographie x

Theoretical and experimental study of x-ray emission in a laser created plasma. Application to x-ray lithography

• Auteur / Autrice : ISABELLE TOUBHANS-BARROS
• Direction : Edouard Fabre
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1989
• Etablissement(s) : Palaiseau, Ecole polytechnique
• Jury : Président / Présidente : Guy Laval
• Jury : Examinateurs / Examinatrices : Jean-Pierre Briand, Michel Gaillard
• Jury : Rapporteur / Rapporteuse : Patrick Mora, Huguette Launois

Mots clés

Mots clés contrôlés

Lithographie

Spectroscopie des rayons X

Mots clés libres

Physique

Fluides, plasmas et decharges electriques

Plasma produit par laser

Emission rx

Etude theorique

Etude experimentale

Spectrometrie rx

Lithographie rx

Laser produced plasma

X ray emission

Theoretical study

Experimental study

X ray spectrometry

X ray lithography

Résumé

L'etude experimentale a necessite la mise au point de deux diagnostics: un multicanal x et un spectrometre a reseau a transmission. L'etude theorique a conduit a utiliser deux codes numeriques. Xsource donne avec une bonne approximation et avec un temps de calcul relativement court le spectre d'emission x quel que soit le numero atomique de la cible. X-rad, code hydrodynamique monodimensionnel plus complexe, tenant compte de la physique atomique et du transport radiatif de facon detaillee permet de determiner l'evolution des parametres caracteristiques du plasma