Thèse soutenue

Caractérisation de couches minces d'oxydes obtenues par pulvérisation cathodique radiofréquence magnétron

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Auteur / Autrice : Philippe Caburet
Direction : Émile Pelletier
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique
Date : Soutenance en 1989
Etablissement(s) : Aix-Marseille 3
Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université Paul Cézanne. Faculté des sciences et techniques de Saint-Jérôme (Aix-Marseille)

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Résumé

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La pulverisation cathodique est presentee comme une technologie alternative de l'evaporation sous vide pour le depot de couches minces optiques. Certaines caracteristiques d'oxydes obtenus par cette methode sont examinees pour differentes conditions de pulverisation. Des liens entre l'indice de refraction, l'indice d'extinction, l'inhomogeneite, la compacite des couches et des parametres de depot tels que pression de gaz, puissance electrique, temperature du substrat sont mis en evidence. A partir de ces resultats, des structures multicouches sont realisees. L'accord du calcul avec l'experience est considere et rapporte au controle d'epaisseur utilise et aux conditions de depot. La stabilite de la reponse spectrale des empilements obtenus est testee lors de transitions air/vide et comparee a celle de structures deposees par evaporation classique