Science des materiaux et techniques du reacteur dans le depot par procede plasma rf de photopiles et d'autres dispositifs en silicium amorphe hydrogene

Material science and reactor technique in the production of hydrogenased amorphous silicon solar cells and other devices by rf glow discharge

• Auteur / Autrice : Pere Roca i Cabarrocas
• Direction : JACQUES SCHMITT
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences appliquées
• Date : Soutenance en 1988
• Etablissement(s) : Paris 7

Mots clés

Mots clés libres

Sciences appliquees

Energie

Cellule solaire

Silicium

Etat amorphe

Hydrogene|sec

Procede fabrication

Reacteur plasma

Dopage

Depot plasma

Radiofrequence

Materiau

Rendement

Caracterisation

Silicium amorphe hydrogene

Solar cell

Silicon

Amorphous state

Hydrogen

Manufacturing process

Plasma reactor

Doping

Plasma deposition

Radiofrequency

Materials

Yield

Characterization

Résumé

Procede de fabrication de a-si:h dans un reacteur multiplasma-monochambre. Etude physicochimique du plasma de silane. Caracterisation du a-si:h produit et correlations entre les conditions de preparation et les proprietes du materiau. Production et caracterisation du materiau dope. Caracterisation des cellules solaires p-i-n fabriquees dans le reacteur arcam, avec des rendements de 8,5% pour des structures non optimisees