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des thèses françaises
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Élaboration et caractérisation de couches minces de nitrures et carbure sur titane obtenues par réaction plasma H. F
FR |
EN
| Auteur / Autrice : | Mohamed Kabbaj |
| Direction : | Louis Cot |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Sciences |
| Date : | Soutenance en 1988 |
| Etablissement(s) : | Montpellier 2 |
Mots clés
FR
Résumé
FR
Influence des parametres du plasma sur la nature et la morphologie des couches ainsi que sur les cinetiques de croissance dans le cas des plasmas n#2, nh#3 et ch#4. On montre par analyse par microscopie electronique a balayages et par spectrometrie de masse d'ions secondaires que les couches de nitrures et de carbures sont homogenes et uniformes. Proposition d'un mecanisme de nitruration par plasma h. F.