Les couches minces de carbone amorphe hydrogéné : durcissement et traitement antireflet à 10,6μm des optiques de germanium

A-c : h thin films : hardening and antireflective treatment for germanium optics for 10. 6mu m

• Auteur / Autrice : Nathalie Vedovotto
• Direction : Jean Tousset
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences. Chimie analytique
• Date : Soutenance en 1988
• Etablissement(s) : Lyon 1
• Jury : Président / Présidente : Jean Tousset

Mots clés

Mots clés contrôlés

Revêtements optiques

Traitements de surface

Germanium

Carbone amorphe hydrogéné

Carbone -- Couches minces

Résumé

Etude des couches minces a-c : h obtenues par decomposition rf d'alcanes, pour la realisation d'un traitement antireflet des optiques de ge. Analyse de la correlation parametres de depot/caracteristiques des couches. Examen des variations des proprietes mecaniques et optiques en particulier. Un programme de deconvolution des spectres ir a permis de remonter a la structure meme du reseau carbone, pour obtenir dans certains cas, une modelisation. Resultats en accord avec le modele de densite de puissance specifique de nyaiesh et nowak. Etude de la nature de l'interface c/ge, en associant microscopie electronique a haute resolution et spectroscopie esca