Influence des conditions experimentales de depot sur la structure et la taille des grains de quelques couches minces obtenues par depot ionique

Influence of experimental coating conditions on the structure and grains size of some thin films obtained by ion plating

• Auteur / Autrice : Mohamed Tahri
• Direction : Bernard Frit
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1988
• Etablissement(s) : Limoges

Résumé

La texture et la taille des grains de depots ioniques d'oxyde d'indium dope a l'etain (ito), d'aluminium et de nitrure et carbure de titane ont ete determinees a partir de diagrammes de diffraction x. La variation dans un large domaine des parametres de depot (temperature du support, vitesse de depot, pression du gaz reactif, tension de polarisation, courant de decharge) a permis de cerner l'evolution des dimensions moyennes des grains en fonction des conditions d'elaboration des differents depots. Les depots d'ito presentent toujours une forte orientation <111>, ceux de nitrure ou de carbure de titane sont la plupart du temps orientes selon <100> ou <110> alors que les depots d'aluminium presentent une orientation statistique