Optimisation du contraste image en microscopie optique : application à l'inspection microélectronique

Image contrast optimization in optical microscopy. Application to in-process integrated circuit inspection

• Auteur / Autrice : Frédéric Moisan
• Direction : Bernard Courtois
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Microélectronique
• Date : Soutenance en 1988
• Etablissement(s) : Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015)
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Institut d'informatique et mathématiques appliquées (Grenoble ; 1989-2006) - Centre d'études nucléaires (Grenoble1956-2006)

Mots clés

Mots clés contrôlés

Circuits intégrés

Spectroscopie

Microscopie

Mots clés libres

Couches minces optiques

Filtrage en longueur d'onde

Inspection microélectronique

Résumé

Dans le domaine de l'inspection visuelle automatique de circuits intégrés, le contraste des images est un paramètre important. La méthode d'optimisation proposée utilise l'effet des variations de réflexion optique en fonction de la longueur d'onde pour les structures de couches minces. Elle consiste a déterminer le filtrage en longueur d'onde optimisant un "facteur de qualité" de l'image (taux de la dynamique de la camera) à partir des spectres de réflexion des différentes structures présentés sur la plaquette. L'étude est limitée au cas des circuits intégrés à 2 structures, mais l'extension a un nombre quelconque est possible. Les différents moyens d'obtention des spectres de réflexion sont précisés. Des mesures photométriques démontrent la fiabilité de la méthode proposée. Un appareillage optique original permet l'application dans le cadre d'une machine d'inspection automatique