Thèse soutenue

Activation electrique et redistribution de l'arsenic et du bore implantes dans le silicium apres recuit thermique rapide
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Auteur / Autrice : Michel Ajaka
Direction : Paul Siffert
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique
Date : Soutenance en 1987
Etablissement(s) : Université Louis Pasteur (Strasbourg) (1971-2008)

Résumé

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Etude des differents aspects du recuit thermique rapide applique a la guerison des defauts et a l'activation des dopants dans le silicium implante. Demonstration du fait que les temps brefs mis en jeu dans ce type de recuit permettent de reveler des effets transitoires, limites a quelques minutes dans le cas de l'epitaxie en phase solide et a quelques secondes dans le cas de la diffusion des dopants