Thèse soutenue

Controle de la croissance d'empilements ultra-minces carbone tungstene et silicium-tungstene par ellipsometrie cinetique in-situ : application aux miroirs pour x-mous

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Auteur / Autrice : Vincent Bodart
Direction : ) THEETEN
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique
Date : Soutenance en 1987
Etablissement(s) : Paris 7

Résumé

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Dans le but d'obtenir des reflecteurs de bragg pour rx mous, on realise par pulverisation avec controle ellipsometrique in situ des empilements de 200 couches nanometriques. Observation de la formation des interfaces a l'echelle atomique, evaluation des rugosites d'interface