Influence du carbone sur les defauts structuraux et sur l'activite electrique du silicium polycristallin hem

par Cécil Cabanel

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Julien Bok.

Soutenue en 1987

à Paris 6 .


  • Résumé

    Etude chimique, microscopique et electrique des differents types de precipitation du carbone dans le silicium polycristallin. Mise en evidence de deux types de precipitation. Pour montrer que l'activite electrique des defauts cristallins est essentiellement liee a la presence d'impuretes, une nouvelle methode a ete elaboree qui presente une resolution spatiale du signal meilleure que l'ebic. L'ensemble de ces etude a permis de conclure sur l'influence du carbone sur les proprietes electriques du materiau

  • Titre traduit

    Influence of carbon on structural defects and electrical activity of h. E. M. Polycristalline silicon


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  • Détails : 1 vol. (152 P.)
  • Annexes : 89 REF

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