Realisation d'un ellipsometre spectroscopique a modulation de phase fonctionnant dans l'infrarouge : application a l'etude des proprietes vibrationnelles de couches ultraminces organiques ou semiconductrices amorphes

par Ramdane Benferhat

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Julien Bok.

Soutenue en 1987

à Paris 6 .

mots clés

• Physique
• Etat condense
• Proprietes electriques, magnetiques, optiques
• Etude experimentale
• Reflexion ir
• Ellipsometrie spectroscopique
• Appareillage
• Modulation phase
• Couche mince
• Epaisseur
• Preparation
• Mode vibration
• Force oscillateur
• Compose mineral
• Compose organique
• Etat amorphe
• Orientation moleculaire
• Behenique acide
• Systeme hydrogene silicium
• Systeme carbone hydrogene silicium
• Couche langmuir blodgett
• Experimental study
• Infrared reflection
• Spectroscopic ellipsometry
• Instrumentation
• Phase modulation
• Thin film
• Thickness
• Preparation
• Vibrational mode
• Oscillator strength
• Inorganic compound
• Organic compounds
• Amorphous state
• Molecular orientation
• Behenic acid
• Langmuir blodgett film
• Silicium

Résumé

Mise au point et realisation de l'appareil, dont le fonctionnement est base sur l'utilisation combinee d'un modulateur photoelastique et d'un traitement numerique rapide du signal; description detaillee du systeme optique et electronique. Application a l'etude des proprietes vibrationnelles de couches ultraminces des deux types : echantillons constitues de 1,3,9,19 monocouches organiques langmuir-blodgett et couches a-si:h de 50 a 500 a d'epaisseur, deposees sur verre. Mise en evidence de l'influence du substrat sur le mecanisme de depot et analyse de l'orientation des chaines aliphatiques dans le premier cas; dans le deuxieme cas l'etude montre que le materiau obtrenu au debut du depot est nettement different de celui des echantillons epais; identification des vibrations de valence des liaisons sim et sih::(2) sur couches de 5 a, effet de l'introduction du carbone dans a-si:h

Titre traduit

Realization of an infrared phase modulated spectroscopic ellipsometer. Study of vibrational properties of ultrathin organic or semiconductor layers

Pas de résumé disponible.