Automatisation d'une station de test par faisceau d'électrons : localisation dynamique de fautes

par Jean-Luc Pélissier

Thèse de doctorat en Composants, signaux et systèmes

Sous la direction de Pierre Merle.

Soutenue en 1987

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    Le memoire de these fait le point sur l'analyse de la defaillance, ses implications economiques, son interet pour le developpement des circuits integres vlsi. L'auteur souligne les imperfections des techniques classiques d'investigation traditionnellement appliquees a cette analyse. Il montre l'interet de l'analyse sans contact par faisceau d'electrons, et dans les differentes utilisations de cette methode, il montre quelles en sont les potentialites. Il choisit alors d'en privilegier une, et l'automatique. Cette automatisation presente deux aspects. L'un est lie a la gestion d'un parc de materiel important et l'auteur developpe le logiciel necessaire a son fonctionnement et a sa maintenance, l'autre concerne l'analyse et le traitement des resultats sous forme d'analyse et de traitement d'images

  • Titre traduit

    Automatisation of an electron beam test station dynamic localisation of defects


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : [3], 96 [i.e. 108], [7] f.,[1] f. de pl
  • Annexes : Bibliogr.: [4] f

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Bibliothèque universitaire Sciences et techniques (Montpellier).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 87.MON-269

Cette version existe également sous forme de microfiche :

  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : MF-1987-PEL
  • Bibliothèque : Université Paris-Est Créteil Val de Marne. Service commun de la documentation. Section multidisciplinaire.
  • PEB soumis à condition
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.