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Thèse soutenue

Étude de circuits submicroniques implantés pour mémoire à bulles magnétiques

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Auteur / Autrice : Marie-Noëlle Séméria
Direction : Germain Chartier
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique
Date : Soutenance en 1987
Etablissement(s) : Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015)

Mots clés

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Résumé

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La technologie necessaire a la realisation de memoires a bulles magnetiques implantees de haute densite (au moins 16 mb/cm**(2)) est etudiee sous differents aspects: le report de motifs submicroniques (0. 3-0. 8 mu m) necessite d'optimiser les moyens classiques de lithographie optique par contact ou projection. A cette fin, une modelisation est utilisee et des experiences comparatives realisees; la realisation des circuits comporte des implantations ioniques: differents materiaux de masque sont proposes (or, silice, polymere). Dans chacun des cas, des realisations concretes de masques graves sont effectuees et analysees; enfin des implantations hydrogene sont realisees. Le fonctionnement des dispositifs est correle aux parametres de l'implantation et au dessin des motifs. Des conclusions pratiques sont tirees sur l'implantation et la technologie compatibles avec un bon fonctionnement des dispositifs