Etude de la structure et de l'adhésion des couches minces de titane et de nitrure de titane préparées par pulvérisation cathodique réactive

Study of structure and adhesion of reactive cathodic sputtered thin titanium and titanium nitride films

• Auteur / Autrice : Timothée Nsongo
• Direction : Marcel Gillet
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences des matériaux
• Date : Soutenance en 1987
• Etablissement(s) : Aix-Marseille 3
• Partenaire(s) de recherche : Autre partenaire : Université Paul Cézanne. Faculté des sciences et techniques de Saint-Jérôme (Aix-Marseille)

Résumé

Determination des conditions pour obtenir des couches de titane de structure hexagonale et du nitrure de titane stoechiometrique cubique a face centrees. Analyse de la structure de ces couches obtenues dans differentes conditions par pulverisation cathodique magnetron en radiofrequence et par triode. Comparaison avec la structure cristalline theorique. Etude de l'adhesion de ces films sur differents supports (mo, ta, cu et nacl) par la methode de rayure. Determination des forces d'adhesion. Analyse de la correlation entre la structure et l'adhesion en relation avec les conditions experimentales