Automatisation d'un spectromètre de masse : application à l'analyse des gaz résiduels d'une capsule contenant une puce AsGa

Automatization of a mass spectrometer

• Auteur / Autrice : Mounir Messedi
• Direction : Jean-Marie Sarrau
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences appliquées
• Date : Soutenance en 1986
• Etablissement(s) : Rouen

Mots clés

Mots clés contrôlés

Semiconducteurs

Étanchéité

Automatisation

Spectrométrie de masse

Mots clés libres

Sciences appliquées

électronique

Circuit intégré

Boîtier

Analyse gaz

Spectrométrie masse

Etanchéité

Dégagement gazeux

Mesure automatique

Appareillage

Haute résolution

Contrôle fabrication

Integrated circuit

Package

Gas analysis

Mass spectrometry

Leakproofness

Gas release

Automatic measurement

Instrumentation

High resolution

Processing control

Résumé

La spectrométrie de masse appliquée à la détection des gaz légers (1 à 100 u. M. A) est particulièrement bien adaptée à la recherche de la composition des gaz contenus à l'intérieur d'un boîtier de faible volume. Une étude systématique a été entreprise pour évaluer la qualité de l'étanchéité et les produits éventuels de dégazage des résines de scellement. L'automatisation de l'analyseur a permis de réduire de façon sensible la durée d'acquisition d'un spectre et de minimiser les phénomènes d'adsorption des parois de la chambre d'analyse. Un ensemble d'analyse performant bien adapté à la configuration des boîtiers a été réalisé et procure ainsi, lors du perçage, une meilleure sensibilité relative pour chaque gaz. La résolution en concentration obtenue est de 20 p. P. M. Ce système contribue à l'analyse des défaillances et au suivi des procédés de fabrication