Contribution à l'automatisation de la procédure de préparation et d'étude en ultra-vide de couches minces d'alliages
FR
Auteur / Autrice : | Norbert Delpire |
Direction : | Jean Gouault |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences appliquées |
Date : | Soutenance en 1986 |
Etablissement(s) : | Rouen |
Résumé
FR
Description de l'automatisation de la phase de la mise en vide d'un groupe a des pressions de l'ordre de 10**(-9) torr à partir d'un microordinateur et de nombreux circuits d'interface. Extension du projet global d'automatisation pour gérer toutes les phases du processus. Description de l'appareillage de mesures analogique ainsi que son interface avec le microordinateur