Thèse soutenue

Contribution à l'automatisation de la procédure de préparation et d'étude en ultra-vide de couches minces d'alliages

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Auteur / Autrice : Norbert Delpire
Direction : Jean Gouault
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences appliquées
Date : Soutenance en 1986
Etablissement(s) : Rouen

Résumé

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Description de l'automatisation de la phase de la mise en vide d'un groupe a des pressions de l'ordre de 10**(-9) torr à partir d'un microordinateur et de nombreux circuits d'interface. Extension du projet global d'automatisation pour gérer toutes les phases du processus. Description de l'appareillage de mesures analogique ainsi que son interface avec le microordinateur