Etude, par microanalyse nucleaire et tracage isotopique des mouvements atomiques induits dans les couches minces de silicium par bombardement ionique de basse et moyenne energie

Study, by using nuclear microanalysis and isotopic tracing, of the atomic movements in si thin films, induced by ion bombardment in the low and medium energy range

• Auteur / Autrice : Pablo Vilato
• Direction : Julius Siejka
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1986
• Etablissement(s) : Paris 7

Résumé

Etude de l'influence de l'irradiation de cibles si par des ions oxygene sur la pulverisation, l'oxydation et le desordre dans le cristal et l'etude du bombardement de si par si (autopulverisation, recuits apres implantation)