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des thèses françaises
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Propriétés électriques et mécaniques de couches minces d'oxydes déposés sous vide
FR |
EN
| Auteur / Autrice : | Hironobu Sakata |
| Direction : | Jean Claverie |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Sciences |
| Date : | Soutenance en 1986 |
| Etablissement(s) : | Bordeaux 1 |
| Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Laboratoire de chimie du solide (Talence, Gironde1975-1995) |
| Autre partenaire : Université Bordeaux-I. Faculté des sciences (1971-2013) | |
| Jury : | Président / Présidente : Paul Hagenmuller |
| Examinateurs / Examinatrices : Paul Hagenmuller, Bernard Gaudreau, Jean Étourneau, Jean-Pierre Bonnet, Jean Claverie |
Mots clés
FR
Résumé
FR
Des couches minces de I. T. O. Ont été obtenues par coévaporation réactive d'indium et d'étain en atmosphère oxydante. Les mécanismes de conduction sont reliés au traitement thermique et au taux de cristallisation. Les couches de silice sont réalisées par évaporation à l'aide d'un canon à électrons. Les propriétés mécaniques de ces couches sont corrélées aux paramètres de dépôt.