Thèse soutenue

Étude des ions d'un plasma réactif : effets d'une perturbation harmonique imposée

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Auteur / Autrice : Brahim Arezki
Direction : Marc Fitaire
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique des gaz et des plasmas
Date : Soutenance en 1985
Etablissement(s) : Paris 11
Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université de Paris-Sud. Faculté des sciences d'Orsay (Essonne)

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Résumé

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Cette thèse porte principalement sur l’analyse des ions d’un plasma réactif (CF₄) dans une décharge RF. Ces ions extraits au travers d’un orifice sont focalisés, à l’aide d’une optique ionique, à l’entrée d’un spectromètre de masse quadrupolaire fonctionnant en analyseur d’ions. Ce dispositif d’étude a permis de déterminer le flux et l’énergie des ions ainsi que l’effet d’une perturbation harmonique imposée et ceci pour différents paramètres du plasma. La pression de travail varie de 30 à 600 mT, pressions couramment utilisées dans la gravure plasma.