Thèse soutenue

Technologie des diodes IMPATT à haut rendement : à barrière métal-semiconducteur GaAs, à hétérojonctions GaInAs/InP

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Auteur / Autrice : Thao Boun
Direction : Eugène Constant
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Électronique
Date : Soutenance en 1985
Etablissement(s) : Lille 1

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Résumé

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Réalisation de diodes IMPATT à barrière métal-semiconducteur en GaAs susceptibles d'osciller en bande X, puis réalisation de diodes IMPATT à hétéro-jonctions du type GaInAs/InP. Les principaux problèmes technologiques sont abordés et analysés en vue d'établir des protocoles fiables d'élaboration de diodes IMPATT. Réalisation de contacts Schottky et ohmiques, gravure des matériaux, amincissement des substrats et mise en place de radiateurs intégrés pour améliorer les performances des dispositifs. Les études expérimentales et les nombreuses caractérisations des composants réalisés permettent de conclure sur la faisabilité des dispositifs, mais de nombreuses difficultés subsistent pour atteindre les performances théoriques.