Simulation bidimensionnelle par la méthode des éléments finis de procédés technologiques complets sur silicium : couplage avec un simulateur de dispositifs

Two-dimensional simulation by finite element method of complete technological processes on silicon : coupling with a device simulator

• Auteur / Autrice : Isabelle Desoutter
• Direction : Jean-Noël Decarpigny
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Électronique
• Date : Soutenance en 1985
• Etablissement(s) : Lille 1

Mots clés

Mots clés contrôlés

Calcul adaptatif

Fonctions gaussiennes

Simulation par ordinateur

Éléments finis, Méthode des

Résumé

MOBIDIC est un simulateur technologique très performant applicable aux procédés technologiques complets sur silicium. Il utilise la méthode des éléments finis. Les problèmes spatiaux et temporels peuvent être découplés. L'influence du maillage sur la stabilité des résultats est analysée. Un mailleur original très performant, le programme ORIENT, totalement compatible avec MOBIDIC, est mis au point. Les lois de distributions d'impureté Gaussiennes, Bigaussiennes et Pearson IV sont incluses dans le code MOBIDIC. Exemples. Accord avec SUPREM. Couplage possible avec le simulateur de dispositifs MINIMOS. L'écriture d'un préprocesseur d'entrée/sortie facile d'emploi s'est avérée nécessaire. Une bibliothèque des valeurs par défaut de tous les paramètres des modèles et constantes physiques est disponible.