Patrice Gergaud
Mots clés
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EN
Microélectronique
Modélisation
Caractérisation
Couches minces
Transistor
Rayons X -- Diffraction
Rayons X
Rayons X -- Diffusion
Nitrure de gallium
Recristallisation en phase solide
Monte Carlo cinétique
Dynamique moléculaire
FDSOI
Simulation
Méthode de Monte-Carlo
Recristallisation (métallurgie)
Silicium -- Substrats
Siliciure
Film ultra mince
Pvd