Oleg Kononchuk
Mots clés
FR
Technologie silicium sur isolant
SSOI (strained Silicon-On-Insulator)
Déformation
Contrainte
GIXRD (Grazing Incidence X-Ray Diffraction)
MOSFET (Metal Oxyde Semiconductor Field Effect Transistor)
FDSOI (Fully Depleted Silicon-On-Insulator)
Mobilité
Strain
Stress
Mobility
Transistors MOSFET
Couches minces
Epaisseur
Rugosité
Métrologie
Silicium-Sur-Isolant
Traitement thermiques
Evolution de Surface
MOS complémentaires