Xavier Glad
Mots clés
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Pyramides à base hexagonale de graphite
Gravure physique/chimique du carbone
Microscopie électronique
Interactions plasma-Surface
Diagnostics plasma
Plasma radiofréquence Ar/H2
Graphite
Cristaux -- Modèles
Gravure par plasma
Technique des plasmas
Wafer
Mosaique
Diamant
Diamant -- Couches minces
Croissance cristalline
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma