Arnaud Le Priol
Mots clés
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Élaboration
Pulvérisation
Évaporation
Film mince
Microstructure
Composant microélectronique
Métal réfractaire
Indium
Dépôts physiques
Couches minces métalliques
Microstructure (physique)
Matériaux réfractaires
Dispositifs optoélectroniques
Verre de Silice
Surface
Stabilté
Résonateur mécanique
Fissures
Verre de silice
Résonance