Michel Fabry
Mots clés
FR
Simulation ordinateur
Étude expérimentale
Diagnostic plasma
Source plasma
Réacteur traitement matériau
Nitruration
Acier
Système pulse
Plasma froid
Chimie plasma
Fonction distribution énergie
Électron
Sonde électrostatique
Spectrométrie optique
Spectrométrie émission
Computerized simulation
Experimental study
Plasma diagnostics
Plasma sources
Materials processing reactors