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des thèses françaises

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Xavier Landreau

Mots clés

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Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma

Films organosiliciés

Silicium -- Substrats

Plan d'expérience

Fourier, Spectroscopie infrarouge à transformée de

Nanoindentation

Dioxyde de titane

Oxyde de titane

Projection au plasma