Franck Chollet
Mots clés
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Microfluidique
Ondes acoustiques de surface
Micro-fabrication
Microcapteurs
Biocapteurs
Capteurs
Systèmes microélectromécaniques
Photonique
Optofluidique
Sondes locales/Contribution à la fabrication de sondes pour le champ proche optique en technologie sol-gel
Sol-gel
Fabrication microélectronique (RIE-DRIE-PECVD)
Microscopie en champ proche
Sondes électroniques
Optique en champ proche
Microélectronique
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Microcomposants optiques
Moems
Microfabrication