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des thèses françaises
Riadh Lakhmi
IdRefMots clés
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Sérigraphie
Micropoutre
Capteur
Piézoélectricité
PZT
Mode 31-longitudinal
Espèces chimiques
Couche sensible PEUT
Phase gazeuse
Phase liquide
Force
Piezorésistivité
Sensibilité
Systèmes microélectromécaniques
Composés organiques volatils
Silice mésoporeuse
Matériaux piézoélectriques
Micro-Poutre
Couche sacrificielle
Impression sérigraphique